DRA100 Series
우측 내용
UHP Low Pressure VCR Type(1/4" 3/8" 1/2" 3/4")
DRA100 시리즈는 초 고순도 반도체 제조용 특수 가스 라인, Bulk Gas Line, 기타 설비 라인 등에 사용하도록 개발된 UHP VCR Type Pressure Reducing Regulator입니다.
- 반도체 생산 hook-up 라인 등에 사용 가능하도록 내부 표면은 BA 15Ra급 EP 10 Ra, 5Ra급까지 처리하였습니다.
- 용도에 따라 2-ports, 3-ports 또는 4-ports를 선택, 사용 할 수 있습니다.
- 입구 압력은 최대 3000psig(210bar)이고 출구압력은 모델에 따라 5psi (0.3bar) ~ 최대 250psig(17bar)까지 사용할 수 있습니다.
- 용접, 조립, 실험, 세정 등 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 이루어집니다.
- 사용 중 가스라인의 미세 진동 또는 외부적 요인등으로 인하여 초기 셋팅 값이 미세하게 조금씩 변하는 현상을 완전히 해결한 당사 특허 10-1370537 Push and Lock 조절 손잡이를 적용하여 사용하기에 더욱 편리합니다. 조절 손잡이를 누르면 셋팅값이 변하는 것을 완전히 방지할 수 있고, 손잡이를 앞으로 당기면 자유롭게 원하는 압력으로 다시 셋팅 할 수 있습니다.
DRA100 시리즈는 초 고순도 반도체 제조용 특수 가스 라인, Bulk Gas Line, 기타 설비 라인 등에 사용하도록 개발된 UHP VCR Type Pressure Reducing Regulator입니다.
- 반도체 생산 hook-up 라인 등에 사용 가능하도록 내부 표면은 BA 15Ra급 EP 10 Ra, 5Ra급까지 처리하였습니다.
- 용도에 따라 2-ports, 3-ports 또는 4-ports를 선택, 사용 할 수 있습니다.
- 입구 압력은 최대 3000psig(210bar)이고 출구압력은 모델에 따라 5psi (0.3bar) ~ 최대 250psig(17bar)까지 사용할 수 있습니다.
- 용접, 조립, 실험, 세정 등 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 이루어집니다.
- 사용 중 가스라인의 미세 진동 또는 외부적 요인등으로 인하여 초기 셋팅 값이 미세하게 조금씩 변하는 현상을 완전히 해결한 당사 특허 10-1370537 Push and Lock 조절 손잡이를 적용하여 사용하기에 더욱 편리합니다. 조절 손잡이를 누르면 셋팅값이 변하는 것을 완전히 방지할 수 있고, 손잡이를 앞으로 당기면 자유롭게 원하는 압력으로 다시 셋팅 할 수 있습니다.
Product Applications
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Ordering Information
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Specification
| Ports | DRA100-A100S-xxx-4MS-GxS 1/4" Male DRA100-A100S-xxx-4FS-GxS 1/4" Female DRA100-A100S-xxx-8MS-GxS 3/8 " Male DRA100-A100S-xxx-8FS-GxS 3/8 " Female DRA100-A100S-xxx-2MS-GxS 1/2 " Male DRA100-A100S-xxx-2FS-GxS 1/2 " Female DRA100-A100S-xxx-3MS-GxS 3/4 " Male DRA100-A100S-xxx-3FS-GxS 3/4 " Female |
| Design Pressure | 150% maximum rated |
| Leak Rate Certification |
to 1 x 10 -9 atm cc/sec Helium available. |
| Body Materials | DRA100-A100x-xxx-xxS-GxS 316L B.A ------------------ 25Ra DRA100-B100x-xxx-xxS-GxS 316L E.P ------------------ 10Ra DRA100-C100x-xxx-xxS-GxS 316L E.P(P.E.P) ------------5Ra DRA100-D100x-xxx-xxS-GxS 316L VAR E.P ---------------10Ra DRA100-E100x-xxx-xxS-GxS 316L VAR(P.E.P) ------------ 5Ra |
| Bonnet Material | Nickel Plated Brass (Stainless steel 316L Optional) |
| Diaphragm | DRA100-x100S-xxx-xxS-GxS STS 316L DRA100-x100H-xxx-xxS-GxS Hastelloy-C22 |
| Main Valve | DRA100-A100S-xxx-xxS-GxS Stainless steel 316L Standard DRA100-B100H-xxx-xxS-GxS Hastelloy-C22 Optional |
| Valve Spring | DRA100-A100S-xxx-xxS-GxS Stainless steel 316L Standard DRA100-B100H-xxx-xxS-GxS Hastelloy-C22 Optional |
| Valve Seat | DRA100-B100S-xPx-xxS-GxS PCTFE DRA100-B100S-xTx-xxS-GxS Teflon DRA100-B100S-xVx-xxS-GxS Vespel |
| Inlet Pressure Ranges |
DRA100-A100S-Hxx-xxS-GxS 3000psi(210bar) DRA100-A100S-Lxx-xxS-GxS 600psi(42bar) |
| Outlet Pressure Ranges |
DRA100-x025x-xxS-xMS-GxS 25psi(1.7bar) DRA100-x050x-xxS-xMS-GxS 50psi(3.4bar) DRA100-x100x-xxS-xMS-GxS 100psi(7bar) DRA100-x250x-xxS-xMS-GxS 250psi(17bar) |
| Operating Temperature |
PCTFE -40°C ~ +60°C (-40°F ~ +140°F) Teflon -40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F) Vespel -40°C ~ +170°C (-40°F ~ +350°F) |
| Flow Capacity | DRA100-x100x-xxS-4MS-GxS 1/4" Cv=0.06 DRA100-x100x-xxO-4MS-GxS 1/4" Cv=0.2 DRA100-x100x-xxS-8MS-GxS 3/8 " Cv=0.2 DRA100-x100x-xxS-2MS-GxS 1/2 " Cv=0.5 DRA100-x100x-xxO-2MS-GxS 1/2 " Cv=1.2 DRA100-x100x-xxS-3MS-GxS 3/4 " Cv=1.2 |
각 제품들은 최고의 안전성과 쉬운 조작성을 고려하여 제작되었습니다. 그러나 가장 안전하고 효율적인 Regulator 사용을 위해서는 실제 사용 압력을 각각 모델의 사용 압력에 25% ~ 75% 이내에서 사용하면 가장 이상적인 압력을 사용할 수 있습니다, 정밀하고 원활한 동작과 제품의 수명 연장을 위해서는 모델에 따라 범위 내에서 사용하기를 적극 권장합니다.