DRA500 Series
우측 내용
UHP Springless Tied Diaphragm Low Pressure(1/4” or 1/2”)
DRA500 시리즈는 초고순도 반도체 제조용 Gas Cabinet, 특수 가스 라인, Valve Manifold Boxes, 기타 연구실 등에 적합하도록 개발된 Springless, VCR type Pressure Reducing Regulator입니다.
- 고유량 제품으로, 1/4" Cv=0.5, 1/2" Cv=0.5 or Cv=1.0 입니다.
- Body는 STS 316L or 316L VAR(더블멜트) 를 사용하고 전해연마 (E.P.)처리를 해서 부식가스 사용 환경에 더욱 적합한 제품입니다.
- Springless 타입: 기존의 스프링 대신에 사용된 “웨이브 스프링 (드라스타 특허 #10-1191514)”은 장기 사용에서 오는 피로로 스프링자체에 발생할 수 있는 이물질 발생을 억제하므로서 초 고순도 및 세정이 요구되는 적용분야에 적합합니다.
- Tied-diaphragm type으로 DRA500 시리즈는 밸브 시트에 어떤 이물질 발생에도 리크를 방지하고 독성, 발화성, 고부식성 가스 등으로 인한 다이아후렘 파열을 방지함으로서 최상의 안전성을 제공합니다.
- 다이아후렘과 바디를 Metal to Metal 실링을 하여 리크 방지력을 높였습니다.
- 표면처리: E.P. 10Ra 또는 5Ra microinch (0.25 or 0.13 micrometer) 등급으로 초 정밀 처리하였습니다.
- 입구 압력은 3500psig(241bar), 2200psig(151bar) or 600psig(42bar)이고 출구압력은 모델에 따라 5psig (0.3bar)에서 최대 150psig (10.3bar)까지 사용할 수 있습니다.
- 용접, 조립, 실험과 세정 등 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 작업이 이루어집니다.
- DRA500 series offers high flow with Cv 0.5 1/4" and Cv=0.5 at 1/2”.
- Inboard Leak Rate to <1 x 10-9 atm cc/sec Helium available.
- Body is made of 316L or VAR (double melt) Stainless Steel with Electropolish to be applicable for corrosive gases.
- Diaphragm: STS 316L or Hastelloy.
- Spring-less type: “wave spring” (DRASTAR patent #10-1191514) used for conventional spring keeps down possible particle generation by the spring itself due to fatigue from long-time use and so it is suitable for applications where ultra high purity and cleaning is needed.
- Metal to metal diaphragm to body sealing for high leak integrity,
- E.P. up to 10Ra or 5Ra microinch(0.25 or 0.13 micrometer) to prevent from particle generation.
- As tied-diaphragm type, DRA500 series offers supreme safety by preventing leaks notwithstanding any particle generation on the valve sheet and protecting the rupture of diaphragm from toxic, pyrophoric, or corrosive gases.
- Inlet pressures are 3500psig(241bar), 2200psig(151bar) or 600psig(42bar) with outlet pressures from 5psig (0.3bar) up to 150psig (10.3bar).
- Design proof pressure: 150% of maximum rated
- All works of welding, assembly, test, and cleaning are done in 100-class& 10-class clean room.
- Decaying Inlet Characteristic: 1.2 psig /100 psig.
※ 사용 중 가스라인이나 외부의 미세 진동 등으로 인하여 초기 압력 셋팅 값이 미세하게 변동하는 현상을 완전히 해결한 당사 Push and Lock 조절 손잡이 (당사 특허 # 10-1370537)를 적용하여 사용하기에 더욱 편리합니다. 조절 손잡이를 누르면 (lock) 압력 셋팅 값이 변하는 것을 완전히 방지할 수 있고, 손잡이를 앞으로 당기면 (unlock) 자유롭게 원하는 압력으로 다시 셋팅 할 수 있습니다.
DRA500 시리즈는 초고순도 반도체 제조용 Gas Cabinet, 특수 가스 라인, Valve Manifold Boxes, 기타 연구실 등에 적합하도록 개발된 Springless, VCR type Pressure Reducing Regulator입니다.
- 고유량 제품으로, 1/4" Cv=0.5, 1/2" Cv=0.5 or Cv=1.0 입니다.
- Body는 STS 316L or 316L VAR(더블멜트) 를 사용하고 전해연마 (E.P.)처리를 해서 부식가스 사용 환경에 더욱 적합한 제품입니다.
- Springless 타입: 기존의 스프링 대신에 사용된 “웨이브 스프링 (드라스타 특허 #10-1191514)”은 장기 사용에서 오는 피로로 스프링자체에 발생할 수 있는 이물질 발생을 억제하므로서 초 고순도 및 세정이 요구되는 적용분야에 적합합니다.
- Tied-diaphragm type으로 DRA500 시리즈는 밸브 시트에 어떤 이물질 발생에도 리크를 방지하고 독성, 발화성, 고부식성 가스 등으로 인한 다이아후렘 파열을 방지함으로서 최상의 안전성을 제공합니다.
- 다이아후렘과 바디를 Metal to Metal 실링을 하여 리크 방지력을 높였습니다.
- 표면처리: E.P. 10Ra 또는 5Ra microinch (0.25 or 0.13 micrometer) 등급으로 초 정밀 처리하였습니다.
- 입구 압력은 3500psig(241bar), 2200psig(151bar) or 600psig(42bar)이고 출구압력은 모델에 따라 5psig (0.3bar)에서 최대 150psig (10.3bar)까지 사용할 수 있습니다.
- 용접, 조립, 실험과 세정 등 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 작업이 이루어집니다.
- DRA500 series offers high flow with Cv 0.5 1/4" and Cv=0.5 at 1/2”.
- Inboard Leak Rate to <1 x 10-9 atm cc/sec Helium available.
- Body is made of 316L or VAR (double melt) Stainless Steel with Electropolish to be applicable for corrosive gases.
- Diaphragm: STS 316L or Hastelloy.
- Spring-less type: “wave spring” (DRASTAR patent #10-1191514) used for conventional spring keeps down possible particle generation by the spring itself due to fatigue from long-time use and so it is suitable for applications where ultra high purity and cleaning is needed.
- Metal to metal diaphragm to body sealing for high leak integrity,
- E.P. up to 10Ra or 5Ra microinch(0.25 or 0.13 micrometer) to prevent from particle generation.
- As tied-diaphragm type, DRA500 series offers supreme safety by preventing leaks notwithstanding any particle generation on the valve sheet and protecting the rupture of diaphragm from toxic, pyrophoric, or corrosive gases.
- Inlet pressures are 3500psig(241bar), 2200psig(151bar) or 600psig(42bar) with outlet pressures from 5psig (0.3bar) up to 150psig (10.3bar).
- Design proof pressure: 150% of maximum rated
- All works of welding, assembly, test, and cleaning are done in 100-class& 10-class clean room.
- Decaying Inlet Characteristic: 1.2 psig /100 psig.
※ 사용 중 가스라인이나 외부의 미세 진동 등으로 인하여 초기 압력 셋팅 값이 미세하게 변동하는 현상을 완전히 해결한 당사 Push and Lock 조절 손잡이 (당사 특허 # 10-1370537)를 적용하여 사용하기에 더욱 편리합니다. 조절 손잡이를 누르면 (lock) 압력 셋팅 값이 변하는 것을 완전히 방지할 수 있고, 손잡이를 앞으로 당기면 (unlock) 자유롭게 원하는 압력으로 다시 셋팅 할 수 있습니다.
Product Applications
-
Ordering Information
|
|||||||||||
|
|
|||||||||
|
Specification
| Ports | DRA500-D100H-xxx-4MS-GxS 1/4" Male DRA500-D100H-xxx-4FS-GxS 1/4" Female DRA500-D100H-xxx-2MS-GxS 1/2 " Male DRA500-D100H-xxx-2FS-GxS 1/2 " Female |
| Design Pressure | 150% maximun rated |
| Leak Rate Certification |
< 1 x 10 -9 atm cc/sec Helium, per ASTM E449 |
| Body Materials | DRA500-B100H-xxx-xxS-GxS 316L E.P ------------------- 10Ra DRA500-C100H-xxx-xxS-GxS 316L E.P(P.E.P) ------------- 5Ra DRA500-D100H-xxx-xxS-GxS 316L VAR E.P --------------- 10Ra DRA500-E100H-xxx-xxS-GxS 316L VAR E.P(P.E.P) --------- 5Ra |
| Bonnet Material | Nickel Plated Brass (Stainless steel 316L Optional) |
| Diaphragm | DRA500-B100S-xxx-xxS-GxS STS 316L DRA500-B100H-xxx-xxS-GxS Hastelloy-C |
| Main Valve | DRA500-D100H-xxx-xxS-GxS Hastelloy-C Standard |
| Valve Seat | DRA500-D100H-xPx-xxH-GxS PCTFE DRA500-D100H-xTx-xxH-GxS Teflon DRA500-D100H-xVx-xxH-GxS Vespel |
| Inlet Pressure Ranges |
DRA500-D100H-Hxx-xxS-GxS 3500psi(241bar) DRA500-D100H-Sxx-xxS-GxS 2200psi(151bar) DRA500-D100H-Mxx-xxS-GxS 1000psi(70bar) DRA500-D100H-Lxx-xxS-GxS 600psi(42bar) |
| Outlet Pressure Ranges |
DRA500-D025H-xxS-xMS-GxS 25psi(1.7bar) DRA500-D050H-xxS-xMS-GxS 50psi(3.4bar) DRA500-D100H-xxS-xMS-GxS 100psi(7bar) DRA500-D130H-xxS-xMS-GxS 130psi(9bar) DRA500-D150H-xxS-xMS-GxS 150psi(10.3bar) |
| Operating Temperature |
PCTFE -40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F) Teflon PFA -40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F) Vespel -40°C ~ +175°C (-40°F ~ +350°F) |
| Flow Capacity | DRA500-B100H-xxxS-4MS-GxS 1/4" Cv=0.5 DRA500-B100H-xxxS-2MS-GxS 1/2" Cv=0.5 DRA500-B100H-xxxO-2MS-GxS 1/2 " Cv=1.0 |
각 제품들은 최고의 안전성과 쉬운 조작성을 고려하여 제작되었습니다. 그러나 가장 안전하고 효율적인 Regulator 사용을 위해서는 실제 사용 압력을 각각 모델의 사용 압력에 25% ~ 75% 이내에서 사용하면 가장 이상적인 압력을 사용할 수 있습니다, 정밀하고 원활한 동작과 제품의 수명 연장을 위해서는 모델에 따라 범위 내에서 사용하기를 적극 권장합니다.